10月16日，山东有研刻蚀设备用硅材料项目通线量产，这是全省首条集成电路刻蚀设备用硅材料生产线，

在填补省内技术空白同时，还将在完善新一代信息技术产业链上迈出关键一步。

刻蚀设备用硅材料部件主要包括硅环和硅电极，是晶圆制造刻蚀环节所需的核心耗材，主要用于生产8至

12英寸等离子刻蚀机，在刻蚀机上起到重要支撑作用。据悉，该项目总投资3.57亿元，主要生产大尺寸单晶

硅部件加工品，全部达产后年新增硅材料204吨。

山东有研艾斯半导体材料有限公司总经理闫志瑞表示，通线代表从小批量转为大批量生产，目前，第一期

每月产能1500片，最大目标是每月10000片，根据市场需求会随时调整生产规模。 ‍‍