据“徽商杂志”公众号消息,近日,总投资 50.6 亿的安徽华鑫微纳集成电路有限公司 8 英寸 MEMS 晶圆生产线项目迎来最新进展。目前项目处于主要产品的工艺串线阶段,预计 6 月底完成。
公开资料显示,安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资建设的 8 英寸 MEMS 晶圆生产线位于中国传 感谷 D 区,建设投资 50.6 亿元,用地面积约 154 亩,总建筑面积 8.7 万平方米,项目建成后,月产能 将达到 3 万片,有望成为国内 MEMS 晶圆产出最大的一条生产线,同时也将是我国第一条 8 英寸压电 MEMS 量产线。
华鑫微纳 8 英寸晶圆生产线项目,主要致力于生产研发涉及工业农业和医疗车载电子,以及航天航 空等领域的传感器的芯片。目前项目已经完成了全部设备的搬入和测试工作,整个项目预计今年的 6 月份正式投入生产。
据了解,安徽华鑫微纳集成电路有限公司将致力于持续领航 MEMS 晶圆制造技术,逐步形成上下 游产业链的集聚,引领带动国内智能传感器产业集群向规模化、高端化发展。