5 月 21 日，华海清科发布公告称，公司新一代 12 英寸超精密晶圆减薄机 Versatile-GP300 量产机台出机发

往集成电路龙头企业。

      公告显示，12 英寸超精密晶圆减薄机是业内首次实现 12 英寸晶圆超精密磨削和 CMP 全局平坦化的有机整

合集成设备，Versatile-GP300 量产机台可稳定实现 12 英寸晶圆片内磨削总厚度变化<1um 和减薄工艺全过程的

稳定可控。

      Versatile-GP300 机台通过创新布局，集成超精密磨削、抛光及清洗单元，配置先进的厚度偏差与表面缺陷

控制技术，提供多种系统功能扩展选项，具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点，可以满足集成电路、先

进封装等制造工艺的晶圆减薄需求。

      华海清科表示，Versatile-GP300 量产机台进入大生产线，标志着其性能获得客户认可，填补了国内芯片装

备行业在超精密减薄技术领域的空白。同时随着先进封装、Chiplet 等技术的应用将大幅提升市场对减薄设备的

需求，本次 12 英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力，对公司未来的发

展将产生积极的影响。