在 5 月 26 日开幕的第七届智能传感器产业发展大会上,安徽华鑫微纳集成电路有限公司发布:8 英寸晶圆生产线首批产品成功串线,这标志着全国首条 8 英寸 MEMS 晶圆全自动生产线在蚌正式投产。
安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理 丁敬秀:“今天我们 8 英寸生产线的第一个全流程产品, 正式串线成功,它标志着我们这条产线的系统 设备、质量等等,都已经达到一个相对比较完善的水平。”
华鑫微纳主要从事 MEMS 晶圆制造,可加工产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光 MEMS 器件 等,主要应用于高端装备、汽车电子等领域。该项目是全国首条 8 英寸 MEMS 晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电 MEMS 量产线。全部建成投产后,将具备月产 3 万片晶圆的能力,成 为国内产出最大的 MEMS 晶圆生产线。
8 英寸 MEMS 晶圆生产线项目是国家集成电路生产力布局的重大项目,也是国家发改委、国资委、工信部、安徽省关注的重大工程项目,2024年被列入国家重点工程。