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总投资 50.6 亿,全国首条 8 英寸 MEMS 晶圆全自动生产线预计 9 月量产
来源: | 作者:大半导体产业网 | 发布时间: 199天前 | 80 次浏览 | 分享到:

     据“蚌埠新视介”公众号消息,安徽华鑫微纳集成电路有限公司 8 英寸晶圆生产线于今年五月份完成 首批产品成功串线后加快产品研发,预计九月底前进入量产阶段。 

    据了解,安徽华鑫微纳集成电路有限公司主要从事 MEMS 晶圆制造。华鑫微纳 8 英寸 MEMS 晶圆 生产线项目是全国首条 8 英寸 MEMS 晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电 MEMS 量 产线。位于中国传感谷 D 区,建设投资 50.6 亿元,用地面积约 154 亩,总建筑面积 8.7 万平方米。全 部建成投产后,将具备月产 3 万片晶圆的能力,成为国内产出最大的 MEMS 晶圆生产线。 

    华鑫微纳项目相关负责人表示,项目目前已经完成所有设备的进场和安装,目前正在处于 11 款主 要产品的工艺调试,预计在 9 月底之前会进入批量生产阶段。负责人表示,公司下一步将会在市场方 面进行深入的拓展,并在产品和平台的开发上加快研发的进度,并在 2026 年底实现 3 万片产能的目 标。